機械計測
Mechanical Measurement
MEMSデバイスなどの機械的特性評価と微粒子の各種パラメータの計測評価を行う装置がある。前者については、デバイスの微小振動や微小材料の機械変形評価等の装置があり、後者については分散している微小粒子の粒径分布、分子量、ゼータ電位、分子間力や粒子の動きなどを測定・評価する装置がある。
振動・変形測定
Vibration and Deformation Measurement
MEMSデバイスの振動測定には、光ヘテロダイン微小振動測定装置がある。レーザーのドップラー効果を利用するもので、1kHz~200MHzまで測れる。機械的変形の測定では超微小材料機械変形評価装置がある。押し込み硬さを計測するものである。
機械特性評価装置
Mechanical property evaluation equipment

【English】MSA-500 Micro System Analyzer
【別名】Mems analyzer Polytec MSA-500
【型式番号】Polytec MSA-500 振動解析装置
【apparatus ID】112
【機器ID】F-UT-119
【機能】MEMS機構の振動解析を行う装置です。XY方向はストロボスコープ(1MHz)、Z方向はレーザードップラー振動計(1.5MHz)またはレーザ変位計(24MHz)にて測定可能です。測定した結果をアニメーションにして表示できるので解析に最適です。