走査電子顕微鏡(SEM)

SEM（Scanning Electron Microscope）

SEM（Scanning Electron Microscope）は、電子線を加速・集束して得た電子プローブを試料表面に照射・走査し、対象物から放出される二次電子、反射電子、透過電子、X線、蛍光、内部起電力等を検出、その映像を拡大表示して対象を観察する顕微鏡。通常は二次電子像が利用される。像の分解能は電子線の直径で決まり、直径は熱陰極電子銃で2～10 nm、電界放射電子銃で0.5～2 nm。

SEM (Scanning Electron Microscope) is a microscope that irradiates and scans a sample surface with an electron probe obtained by accelerating and focusing an electron beam, detects secondary electrons, reflected electrons, transmitted electrons, X-rays, fluorescence, internal electromotive force, etc. emitted from the object, and magnifies the image to observe the object. Usually, secondary electron images are used. The resolution of the image is determined by the diameter of the electron beam, which is 2 to 10 nm for a hot-cathode electron gun and 0.5 to 2 nm for a field emission electron gun.

SEM

SEM

高精細電子顕微鏡

Ultra-high Resolution Scanning Electron Microscope

走査プローブ顕微鏡(SPM)

SPM（Scanning Probe Microscope）

SPM（Scanning Probe Microscope）は、先端を尖らせた探針（プローブ）を物質の表面に近づけてプローブ直下の表面に刺激を与えた時の応答を測定し、プローブを動かした時の応答から、原子配列、電子構造、凹凸などの表面状態をナノメートルオーダーの空間分解能で2次元的に拡大観察することのできる顕微鏡です。

SPM (Scanning Probe Microscope) is a microscope that enables two-dimensional magnified observation of surface conditions such as atomic arrangement, electronic structure, and unevenness with nanometer-order spatial resolution. A probe with a pointed tip is brought close to the surface of a material, and the response to stimulation of the surface directly under the probe is measured. Observation data is acquired from the response when the probe is moved.

小型原子間力顕微鏡

Atomin Force Microscope (AFM)

分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)

Spectroscopy (light, electron beam, ion beam, plasma, magnetism, X-ray)

分光法は分光器によって発光および吸収スペクトルを調べる物理分析法である。γ線、X線、紫外線、可視光線、赤外線、マイクロ波の各種波長領域について発光および吸収スペクトルから物質の同定、定性、定量を行う手法がある。

Spectroscopy is a physical analysis method that examines emission and absorption spectra using a spectroscope, and includes methods for identifying, qualifying, and quantifying substances based on emission and absorption spectra in various wavelength regions, such as gamma rays, X-rays, ultraviolet rays, visible light, infrared rays, and microwaves.

オージェ分光分析装置

Auger Electron Spectroscopy

光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)

Optical Microscopes (General, Confocal, Laser)

光学顕微鏡類としては、レーザー顕微鏡（生物用共焦点レーザ走査型顕微鏡、3D測定レーザー顕微鏡など）、デジタル顕微鏡（測微機能および3次元表示機能付き）、蛍光イメージングシステム（蛍光顕微鏡とサポートシステム）などがある。

Optical microscopes include laser microscopes (e.g., biological confocal laser scanning microscopes, 3D measurement laser microscopes), digital microscopes (with microscopy and 3D display functions), and fluorescence imaging systems (fluorescence microscopes and support systems).

形状・膜厚・電気特性評価装置群

Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.

膜厚・段差・粗さ測定

Film thickness, step and roughness measurement

膜厚・段差の測定では、垂直解像度１nmの触針式表面形状測定装置、膜の表面と裏面で反射した光の干渉を利用する光干渉方式（60μmまでのレジスト膜厚測定可、最大4層膜まで同時測定可）、Åレベルの薄い膜に対して良い感度を持つ分光エリプソメトリー（薄膜の屈折率nと消衰係数k（光学定数）や、膜厚、表面粗さ・界面の粗さなどを測定できる）などがある。これらとは異なり、MEMSデバイスの動的特性（面外、面内）および表面形状を3次元で測定するマイクロシステムアナライザーがある。

For the measurement of film thickness and step, there are several methods: a tactile surface profiler with a vertical resolution of 1 nm, an optical interference method that uses the interference of light reflected from the surface and back of the film (capable of measuring resist film thicknesses of up to 60 μm and simultaneous measurement of up to four layers of film), and spectroscopic ellipsometry (capable of measuring the refractive index n and extinction coefficient k (optical constants) of thin films, as well as film thickness, surface roughness, and interface roughness). ), and spectroscopic ellipsometry (capable of measuring the refractive index n and extinction coefficient k (optical constant) of thin films, film thickness, and surface and interface roughness). Unlike these, there are micro system analyzers that measure the dynamic properties (out-of-plane and in-plane) and surface topography of MEMS devices in three dimensions.

形状・膜厚・電気特性評価装置群

Stylus profiler BRUKER DektakXT

形状・膜厚・電気特性評価装置群

TohoSpec

形状・膜厚・電気特性評価装置群 8インチプローバ

8-inch Probe Station

形状・膜厚・電気特性評価装置群

Ellipsometer

形状・膜厚・電気特性評価装置群

Laser microscope